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產品名稱：帶有完整附件的氣氛控制旋涂機（*大6K RPM和6英寸晶圓）
產品型號：VTC-200PV
產品展商：MTI
產品文檔：無相關文檔

簡單介紹

VTC-200PV是可控制氣氛的旋涂機，帶有聚丙烯氣密性，可以在真空或惰性氣體氣氛下進行旋涂。隨附樣品架，可涂覆6英寸以下的晶圓。數字控制盒與旋涂機分開，可讓您在遠程位置進行操作。紡絲速度在500-6000 rpm范圍內可變，帶有兩個可編程段。包裝包括兩個級真空泵，數字真空計和20ml注射器可立即使用。

產品描述

VTC-200PV是可控制氣氛的旋涂機，帶有  聚丙烯氣密性，  可以在真空或惰性氣體氣氛下進行旋涂  。隨附樣品架，可涂覆6英寸以下的晶圓。數字控制盒與旋涂機分開，可讓您在遠程位置進行操作。紡絲速度在500-6000 rpm范圍內可變，帶有兩個可編程段。包裝包括兩個級真空泵，數字真空計和20ml注射器可立即使用。

規格：

結構體



表殼和旋轉盤由聚丙烯（PP）制成，  可抵抗大多數腐蝕性溶液。

數字控制盒與旋涂機分開。

標準包裝中包括一臺兩級真空泵。請單擊此處了解規格詳細信息。

數字真空計安裝在旋涂機的頂蓋上

標準包裝中包含一個過濾器。它用于連接泵和涂層機，以防止廢水流入泵。

樣品可以通過機械夾具（真空注入或真空（用于惰性氣體））固定

輸入功率

默認220VAC，50 / 60Hz，單相，*大1000W

可選條中提供110V（帶有1500W變壓器）

數字控制盒背面的電源插座用于為真空泵供電。（此電源插座的輸出電壓取決于旋涂機的輸入電壓，例如，如果旋涂機插入AC 110V，則此電源插座將提供AC 110V。）

箱式和真空吸盤

腔室直徑：150毫米

PP防腐蝕卡盤，可通過真空或機械夾具固定*大直徑為6“的基材

真空吸盤只能在惰性氣體氣氛下使用

必須使用機械卡盤進行真空注射

真空

一個  156升/米雙級旋片式真空泵具有排氣過濾器被包括  在標準軟件包中，請點擊  下面的圖片為規范的信息。（圖1）

*高系統的真空度為900 m-torr

旋轉速度

數字控制面板，具有六個自轉時間和速度不同的可編程段

*大可編程旋轉時間6 * 60s = 360s

  每段500-6000 RPM可調紡紗速度

液體注射

使用20mL注射器盛裝涂料（單擊圖片1）

   -圖片1

可選的

可根據要求提供帶有數字溫度控制器的加熱蓋，*高溫度為120℃（1950美元），可在涂覆過程中和涂覆后就地干燥樣品（單擊圖片1和2）

  - PIC 1 - 產品圖2

發動機 24VDC，無刷，*大200W：

產品尺寸
（點擊圖片以查看詳細信息）涂布機：直徑250mm x 590mm（H）控制單元：330mm（L）x 380mm（W）x 165mm（H）

凈重 25公斤

合規

CE認證

保證

一年有限，終身支持

由于不正確的存儲條件或維護而導致的生銹和損壞不在保修范圍內

操作手冊和視頻


警告事項

請勿用任何液體過度沖洗水杯/底座。過多的液體會泄漏到電機軸中并造成損壞。請用布擦拭殘留在船首/底座上的殘留物。

如有必要，在沖洗水杯/底座時打開出水口，以免在操作過程中液體溢出。

有關清潔程序的更多詳細信息，請查閱旋涂機的  清潔說明。

運輸尺寸 40英寸（長）x 30英寸（寬）x 30英寸（高）

裝運重量 46公斤（100磅）

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結構體	表殼和旋轉盤由聚丙烯（PP）制成，可抵抗大多數腐蝕性溶液。數字控制盒與旋涂機分開。標準包裝中包括一臺兩級真空泵。請單擊此處了解規格詳細信息。數字真空計安裝在旋涂機的頂蓋上標準包裝中包含一個過濾器。它用于連接泵和涂層機，以防止廢水流入泵。樣品可以通過機械夾具（真空注入或真空（用于惰性氣體））固定
輸入功率	默認220VAC，50 / 60Hz，單相，*大1000W 可選條中提供110V（帶有1500W變壓器）數字控制盒背面的電源插座用于為真空泵供電。（此電源插座的輸出電壓取決于旋涂機的輸入電壓，例如，如果旋涂機插入AC 110V，則此電源插座將提供AC 110V。）
箱式和真空吸盤	腔室直徑：150毫米 PP防腐蝕卡盤，可通過真空或機械夾具固定*大直徑為6“的基材真空吸盤只能在惰性氣體氣氛下使用必須使用機械卡盤進行真空注射
真空	一個 156升/米雙級旋片式真空泵具有排氣過濾器被包括在標準軟件包中，請點擊下面的圖片為規范的信息。（圖1） *高系統的真空度為900 m-torr
旋轉速度	數字控制面板，具有六個自轉時間和速度不同的可編程段大可編程旋轉時間6 60s = 360s 每段500-6000 RPM可調紡紗速度
液體注射	使用20mL注射器盛裝涂料（單擊圖片1） -圖片1
可選的	可根據要求提供帶有數字溫度控制器的加熱蓋，*高溫度為120℃（1950美元），可在涂覆過程中和涂覆后就地干燥樣品（單擊圖片1和2） - PIC 1 - 產品圖2
發動機	24VDC，無刷，*大200W：
產品尺寸（點擊圖片以查看詳細信息）	涂布機：直徑250mm x 590mm（H）控制單元：330mm（L）x 380mm（W）x 165mm（H）
凈重	25公斤
合規	CE認證
保證	一年有限，終身支持由于不正確的存儲條件或維護而導致的生銹和損壞不在保修范圍內
操作手冊和視頻
警告事項	請勿用任何液體過度沖洗水杯/底座。過多的液體會泄漏到電機軸中并造成損壞。請用布擦拭殘留在船首/底座上的殘留物。如有必要，在沖洗水杯/底座時打開出水口，以免在操作過程中液體溢出。有關清潔程序的更多詳細信息，請查閱旋涂機的清潔說明。
運輸尺寸	40英寸（長）x 30英寸（寬）x 30英寸（高）
裝運重量	46公斤（100磅）

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帶有完整附件的氣氛控制旋涂機（*大6K RPM和6英寸晶圓）