• 單相220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W（包括真空泵和冷水機）

• 兩個濺射電源集成在一個控制箱中（單擊下面的圖片查看詳細規格）
• 直流電源：500 W功率，用于涂覆金屬材料（圖1）
• 射頻源：功率為300 W，頻率為13.56 MHz，用于涂覆非導電材料（圖片2）

          -圖片1-            圖片2     

磁控濺射頭

• 包括兩個帶有水冷套和百葉窗的2英寸  磁控濺射頭（單擊左圖1st圖片。
• 此產品頁面上也提供一個濺射頭型號（在產品選件中）
• 一個連接到  直流電源以涂覆金屬材料
• 另一個連接到非導電材料的RF源
• 目標尺寸要求：2英寸直徑
• 厚度范圍：金屬和非導電目標（包括墊板）的厚度范圍均為0.1-5 mm
• 包括一個不銹鋼靶和一個研究級Al2O3靶 用于演示測試
• 可根據要求提供可選的2英寸濺射靶（或墊板），但需額外付費。
• 推薦的濺射配方和有用的技巧
• 定制涂布機：兩個無射頻DC頭；兩個不帶DC的RF頭；可根據要求提供3個RF頭
• 可選： 可以訂購148厘米的RF電纜，以進行更換（需額外付費）（從右向右依次單擊**張照片）

             

      

真空室

• 真空室：直徑300毫米 x 300毫米高度，由不銹鋼制成
• 視口：兩片100毫米直徑。玻璃。一個固定；一根可拆卸的清潔和更換件
• 帶有氣動桿的鉸接式蓋 使目標易于更換

樣品臺

• 樣品架是由帶銅蓋的陶瓷加熱器制成的可旋轉且可加熱的載物臺
• 樣品架尺寸：直徑140毫米。對于。*大4“晶圓
• 旋轉速度：1-20 rpm可調，均勻涂層
• 支架溫度可通過數字溫度控制器在RT至*大500°C（*大2 hr）范圍內調節，精度為+/- 1.0°C

氣體流量控制

• 安裝了兩個精密質量流量控制器（MFC），以允許兩種氣體進入 
• 流速：0 – 200 mL / min在觸摸屏控制面板上可調
• 安裝了進氣閥以釋放真空

• 包括一個移動泵站。濺射涂布機可以放在工作站的頂部
• 速度為80L / S的高速渦輪泵  與兩級機械泵（220 L / min）相結合，可實現*大真空度和更快的抽速
• 與腔室相連的標準真空度：<4.0E-5托。
• 可選，需額外付費
• 如果選擇150L / S高速渦輪泵，則帶腔的真空度可達到10-6托（烘烤時為6x10-7托）
• 對于高達10 ^ -7托的超高真空，除渦輪泵外還需要吸氣泵（100L / s H2＆O2）。請咨詢我們的工程師以進行詳細的自定義。
•  150L / S高速渦輪泵  吸氣泵         

• 包括一臺數字溫度控制的  循環水冷卻器  。 （點擊圖片查看詳情）
• 制冷范圍：5?35°C
• 流量：16 L / min
• 泵壓力：14 psi

• **的石英膜厚度監測器  是可選的，它可以放入腔室中以0.10?的精度監測涂層厚度
• 精密  薄膜和涂層分析系統-EQ-TFMS-LD  需額外付費
• 可根據要求提供各種2“氧化物和金屬靶材，但需要額外付費。可以在MTI訂購環氧銀和銅背板

             

外形尺寸

                                        
          蓋子關閉：48“  ×28”  ×32“蓋子打開：  48”  ×28“×37”

涂布機凈重

• 160公斤

運輸重量和尺寸

• 總共2個托盤
• ＃1：520磅，52英寸x 40英寸x 50英寸
• ＃2：420磅，48英寸x 40英寸x 45英寸

合規

• CE認證
• 可應要求提供MET認證（UL 1450），但需要額外收費，請聯系我們的銷售代表以獲取報價。 

保證

• 一年有限保修，提供終身支持

操作指令

 應用筆記Pic 1 Pic 2        
   
              

•  為了**使用，應在氣瓶上安裝兩級壓力調節器（不包括），以將氣體輸出壓力限制在0.02 MPa 以下。
• 為了從腔室中除去氧氣，MTI建議  您使用5％的氫氣+ 95％的氮氣清潔腔室2-3次，這可以將氧氣含量降低至<10 ppm
• 請使用> 5N純度的氬氣進行等離子體濺射。即使5N純度的Ar，根據供應商的不同，通常也包含10-100 ppm的氧氣和H2O。MTI建議您 在填充之前使用  氣體凈化設備凈化氣體。（單擊左側的Pic＃1＆＃2進行訂購）
• 為了獲得*佳性能，非導電靶必須安裝有銅墊板。請參考下面的指導視頻進行目標綁定  （點擊下面的圖片＃3）
• MTI提供從A到Z的單晶襯底（單擊下面的圖片＃4進行訂購） 
• MTI濺射鍍膜機已 在500°C的Al ₂ O ₃ 襯底上成功涂覆了ZnO （下圖5中的XRD曲線）
• 高壓！濺射頭連接到高電壓。為了**起見，操作人員必須在樣品加載和目標改變操作之前關閉RF / DC發生器
• 請勿在冷水機中使用自來水。與水一起使用冷卻液，去離子水，蒸餾水或抗腐蝕添加劑

• 圖片3	圖片4	圖片5