• 超高頻（2.4Mhz）超聲霧化器可以將亞微米級的液滴輸送到加熱的流化床，以進行后續的分解和CVD在粉末上的涂層。
• 使爆炸的氣體和溶液亞微米顆粒均勻分布在管腔的整個橫截面上
• 向上流動的氣體使固體顆粒懸浮
• 出色的熱傳遞和涂層，適用于每個懸浮顆粒 
• 取下蓋子后，可以從管的頂部排出加工過的材料

• 110VAC，2.4 MHz超高頻超聲波發生器可產生亞微米溶液顆粒
• 含氟聚合物涂層的液體容器和含氟聚合物密封墊片
• 外部含氟聚合物光學傳感器和閥，用于在設備干轉時將液位保持在正確的高度，并防止損壞霧化元件。
• 超聲波功率可編程，0?100％，遞增5％。
• 帶有1/4''管接頭適配器的304不銹鋼T型件（1.5''衛生接頭）可使用載氣。

• 玻璃料：1 5?40 微米多孔，22mm外徑x 4mm厚
               

• 雙層鋼結構，帶風冷
• 分體門設計，易于安裝管子
• 高純度Al2O3纖維絕緣材料，旨在*大程度地節省能源

功率

1200 瓦

電壓

*高 溫度

1100 ^o C

連續溫度

1000 ^? ?

*高 加熱速率

<= 20  ^o C /分鐘

管尺寸和材料

• 隨附一根石英管。帶有底部玻璃料和擴大空間的主管用于顆粒處理
• 兩端：外徑 25mm  ，內徑  22mm  ; 中央：外徑50mm，內徑44mm，有關詳細尺寸，請參閱下圖。
• 中央擴大區域確保高空氣動力學性能

密封法蘭

• 底部法蘭：常規設計的1''底部法蘭，帶1/4''管接頭，用于引入主要氣體 
• 頂部法蘭：特殊設計的1''頂部法蘭，帶回流二級（前驅）進氣口和排氣口，請單擊下面的圖片以了解詳細信息

選裝件

• 可能需要通過氣體輸送來控制氣體
• 氧氣監測：  氧氣傳感器可用于監測CVD系統中使用的氣體的氧氣水平，以防止或  減少氧化。請點擊下面的圖片了解更多信息：

         

加熱區長度

200 毫米  （單個區域）

溫度控制器

• 30個可編程段，用于**控制加熱速率，冷卻速率和停留時間。
• 內置PID自動調節功能，具有過熱和熱電偶保護功能。
• 過熱保護和警報功能允許無人值守的操作。
• +/- 1oC溫度精度。

尺寸圖

凈重

約20 千克（不包括移動車）

裝運重量

200 磅

保證 

• 一年有限保修（易損件，例如加熱元件，處理管和O形圈不在保修范圍內，請在下面的相關產品處訂購替換件。）

合規

• CE認證
• 所有電氣組件（> 24V）均通過UL / MET / CSA認證
• 熔爐準備通過TUV（UL61010）或CSA認證，需要額外付費。 （請單擊下面的標記以了解詳細信息）

                       

警告單擊此處了解 氣體調節器的安裝

• 帶石英管的管式爐設計用于在< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低正壓下使用 
• 氣體的流量應限制為<200 SCCM（或200 ml / min），以減少對管子的熱沖擊
• 甲ttention：必須在氣瓶安裝的兩級壓力調節器，以限制壓力低于3 PSI**操作。 單擊此處了解 氣體調節器的安裝。
• 所有石英管爐的真空*限定義：*真空壓力只能在*高1000°C的溫度下**使用 

操作說明