Holmarc設計了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設計用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創建微結構。
系統支持高達4096級的灰度等級,支持3D光學結構,表面結構以及蒙版項目,使該系統成為用于研發的理想Litho工具。